сканирующая головка может отклонять лазерный луч в направлении X и Y. Это создаст двухмерную плоскую область, в которой лазерный луч может фокусироваться в любом месте на плоскости. двухмерное плоское пространство обозначает диапазон. отклонение луча лазера
осуществляется двумя сканирующими гальванометрическими зеркалами. сканирующая головка имеет два отверстия, одно для оптического ввода, другое для оптического вывода. лазерный луч поступает в сканирующую головку из входной отверстия, отклоняется и запускается из выходного отверстия, как показано на рисунке 1. выходное отверстие открывает или устанавливает F - Theta для сканирования объектива или устанавливает защитные окна.
сканирующая головка с тремя осями вибратора использует xY вибратора и Z линзы для формирования трехмерной фокусировки, решение лазерного луча через фокусирующее зеркало после фокусировки плоской плоскости шарообразной, выравнивания поверхности обрабатываемых деталей, фокусировки на плоской поверхности маркера, различные проблемы с шириной линии маркера. изменяя положение динамических фокусирующих зеркал, фокус остается на поверхности обрабатываемых деталей, достигая тем самым эффекта, равного диаметру и меньшего диаметра всех световых пятн в диапазоне маркеров.